產(chǎn)品中心
Product Center
當(dāng)前位置:首頁(yè)
產(chǎn)品中心
材料樣品檢測(cè)
真空探針臺(tái)
KT-0904T-R小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                  小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 | 
|---|
小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R
高溫?zé)o氧化測(cè)試:
 當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)
 越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤
 差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵
 抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。


小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-RL參數(shù)
真空腔體  | |
類(lèi)型  | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃  | 
腔體材質(zhì)  | 304不銹鋼  | 
腔體內(nèi)尺寸  | φ90x40mm  | 
腔體上視窗尺寸  | Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm)  | 
腔體抽氣口  | KF16  | 
腔體進(jìn)氣口  | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選  | 
腔體出氣口  | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選  | 
腔體正壓  | ≤0.05MPa  | 
腔體真空度  | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)  | 
樣品臺(tái)  | |
樣品臺(tái)材質(zhì)  | 304不銹鋼  | 
樣品臺(tái)尺寸  | 26X26mm  | 
樣品臺(tái)-視窗 距離  | 30mm(可選凹視窗間距15mm)  | 
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器  | A 級(jí)PT100鉑電阻  | 
樣品臺(tái)溫度  | 室溫到350℃(可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃)  | 
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差  | ±0.2℃  | 
樣品臺(tái)變溫速率  | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值  | 
溫控儀  | |
溫度顯示  | 7寸人機(jī)界面  | 
溫控類(lèi)型  | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)  | 
溫度分辨率  | 0.1℃  | 
溫控精度  | ±0.5℃  | 
溫度信號(hào)輸入類(lèi)型  | PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶)  | 
溫控輸出  | 直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)  | 
輔助功能  | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線  | 
探針  | |
電信號(hào)接頭  | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米  | 
電學(xué)性能  | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA  | 
探針數(shù)量  | 4探針(可定做6探針)  | 
探針材質(zhì)  | 鍍金鎢針  | 
探針尖  | 10μm  | 
探針移動(dòng)平臺(tái)  | |
X軸移動(dòng)行程  | 12mm ±6mm  | 
X軸控制精度  | ≤5μm  | 
Y軸移動(dòng)行程  | 12mm ±6mm  | 
Y軸控制精度  | ≤5μm  | 
Z軸移動(dòng)行程  | 12mm ±6mm  | 
Z軸控制精度  | ≤5μm  | 
數(shù)碼顯微鏡  | |
顯微鏡類(lèi)別  | 物鏡放大+電子放大  | 
顯微鏡放大倍數(shù)  | 100倍  | 
顯微鏡工作間距  | 50-150mm  | 
相機(jī)分辨率  | 1080P 60幀  | 
相機(jī)信號(hào)輸出  | HDMI輸出+USB輸出  | 
LED可調(diào)光源  | LED光源  | 
顯示屏  | 5寸 屏幕一體機(jī)  |